等離子體質譜儀是一種將電感耦合等離子體（ICP）技術與質譜分析相結合的高靈敏度分析儀器，廣泛應用于多個領域。其工作原理：樣品以液體氣溶膠形式被引入高溫等離子體（約10000K）中，樣品中的元素被電離成一價正離子。這些離子通過接口進入真空度約為10??Torr的質譜儀，經過質譜分離后，由離子檢測系統進行檢測。ICP-MS利用帶電粒子在電磁場中的偏轉原理，按物質原子、分子或分子碎片的質量差異進行分離和檢測。

　　等離子體質譜儀的日常維護：

　　1、清潔進樣系統

　　霧化器和霧室：

　　每次使用后，用去離子水沖洗霧化器和霧室至少5分鐘，避免樣品殘留堵塞或腐蝕。

　　定期拆卸霧化器，用超聲波清洗器（搭配稀硝酸或專用清洗液）清洗，確保霧化效率。

　　采樣錐和截取錐：

　　每次測試后用棉簽蘸取少量酒精擦拭錐表面，去除附著的鹽分或碳沉積物。

　　定期（如每月或每100小時運行）用專用錐清洗液浸泡清洗，避免積碳或金屬污染。

　　2、檢查氣體供應

　　每日檢查氬氣純度（≥99.996%）和壓力，確保無泄漏。

　　定期更換氬氣過濾器，避免氣體中的雜質進入等離子體源。

　　3、排放廢水

　　每天測試結束后，將廢液管內的殘留液體排空，防止腐蝕性廢液（如高鹽或酸液）損壞管道。

　　4、清潔儀器外表面

　　用無塵布擦拭儀器外殼和顯示屏，避免灰塵或油污影響散熱和操作。